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一、 真空技术指标：（洁净、冷态、空载）
1. 极限真空：优于5×10-4Pa；
2. 抽速：从大气到5×10-3Pa，抽气时间小于35分钟；
3. 压升率：小于0.5Pa/小时。
二、设备型号:BC-1612ASI
技术参数（以下参数可根据用户需求定制）
真空室结构：带水冷立式前开门，机械泵+罗茨泵+分子泵抽气机组。
真空室尺寸：内部尺寸1600㎜×1250㎜
真空室材质：全部采用不锈钢材料焊接。
真空室加热：室内温度≤350℃
公自转转架：24个自转轴，直径∮140mm。
溅射靶系统: 4对，含中频电源
多弧靶系统：4套，含电源
条形离子源：1套，含电源
控制方式: PLC全自动和半自动控制模式，包含数据存储及报警系统。
占地面积：长6000㎜ ×宽3500㎜×高2600㎜
总功率KW： 380V 120KW
