CVD金刚石涂层沉积设备
•可用于沉积金刚石涂层厚膜,焊接刀具;
•可用于沉积刀具涂层,如微铣微钻,可沉积微米涂层、纳米级涂层等;
•可用于沉积模具涂层,拉丝模具、挤压模具等。
•可根据用户要求做不同配置,既可做小批量量产设备使用可用于教学及 科研。
1:设备型号:BC-Diamond-600
技术参数(以下参数可根据用户需求定制)
真空室结构:立式圆柱形前开门,后置真空抽气机组。
真空室尺寸:内部尺寸600㎜×450㎜
真空室材质:全部采用不锈钢材料焊接
真空室加热:室内温度≤500℃
基片台: 平板型直径 300㎜
电源配置: 偏压电源,热丝电源
控制方式: PLC全自动和半自动控制模式
占地面积: 长1900㎜×宽2100㎜×高2050㎜
总功率KW: 380V 40KW