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电弧磁过滤镀膜机
适用于沉积DLC或碳膜，耐高温涂层如做氧化铝等以及刀具、工模具的耐磨 损涂层镀膜；
采用电弧磁过滤沉积系统，这种结构最大的优势在于离化率很高，膜层致密， 采用电弧磁过滤沉积系统，这种结构最大的优势在于离化率很高，膜层致密， 镀膜离子能量强，具有很强的膜基结合力，可以在平整表面形成致密，稳定 的膜层，表面光洁度好，降低膜层的摩擦系数；
该设备配置离子源，可结合磁过滤系统进行清洗及辅助沉积
可根据用户要求做不同配置，既可做量产设备使用，又可用于教学及科研。
设备型号:BC-DLC-600A
技术参数（以下参数可根据用户需求定制）
真空室结构：立式圆柱形前开门，后置低真空，上置高真空抽气机组。
真空室尺寸：内部尺寸650㎜×400㎜
真空室材质：全部采用不锈钢材料焊接。
真空室加热：室内温度≤500℃
旋转基片台：平板型直径472㎜,带自转轴。
靶配置: 磁过滤圆弧靶
电源配置：弧电源, 磁场电源,偏压电源
控制方式: PLC全自动和半自动控制模式
占地面积：长3900㎜ ×宽2100㎜×高2600㎜
总功率KW： 380V 50KW
