电弧磁过滤镀膜机
适用于沉积DLC或碳膜,耐高温涂层如做氧化铝等以及刀具、工模具的耐磨 损涂层镀膜;
采用电弧磁过滤沉积系统,这种结构最大的优势在于离化率很高,膜层致密, 采用电弧磁过滤沉积系统,这种结构最大的优势在于离化率很高,膜层致密, 镀膜离子能量强,具有很强的膜基结合力,可以在平整表面形成致密,稳定 的膜层,表面光洁度好,降低膜层的摩擦系数;
该设备配置离子源,可结合磁过滤系统进行清洗及辅助沉积
可根据用户要求做不同配置,既可做量产设备使用,又可用于教学及科研。
设备型号:BC-DLC-600A
技术参数(以下参数可根据用户需求定制)
真空室结构:立式圆柱形前开门,后置低真空,上置高真空抽气机组。
真空室尺寸:内部尺寸650㎜×400㎜
真空室材质:全部采用不锈钢材料焊接。
真空室加热:室内温度≤500℃
旋转基片台:平板型直径472㎜,带自转轴。
靶配置: 磁过滤圆弧靶
电源配置:弧电源, 磁场电源,偏压电源
控制方式: PLC全自动和半自动控制模式
占地面积:长3900㎜ ×宽2100㎜×高2600㎜
总功率KW: 380V 50KW