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电弧磁过滤镀膜机

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电弧磁过滤镀膜机

产品时间:2021-12-22 16:30:32

简要描述:

电弧磁过滤镀膜机适用于沉积DLC或碳膜,耐高温涂层如做氧化铝等以及刀具、工模具的耐磨 损涂层镀膜;采用电弧磁过滤沉积系统,这种结构最大的优势在于离化率很高,膜层致密, 采用电弧磁过滤沉积系统,这种结构最大的优势在于离化率很高,膜层致密, 镀膜离子能量强,具有很强的膜基结合力,可以在平整表面形成致密,稳定 的...

详细介绍

电弧磁过滤镀膜机

适用于沉积DLC或碳膜,耐高温涂层如做氧化铝等以及刀具、工模具的耐磨 损涂层镀膜;

采用电弧磁过滤沉积系统,这种结构最大的优势在于离化率很高,膜层致密, 采用电弧磁过滤沉积系统,这种结构最大的优势在于离化率很高,膜层致密, 镀膜离子能量强,具有很强的膜基结合力,可以在平整表面形成致密,稳定 的膜层,表面光洁度好,降低膜层的摩擦系数;

该设备配置离子源,可结合磁过滤系统进行清洗及辅助沉积

可根据用户要求做不同配置,既可做量产设备使用,又可用于教学及科研。


设备型号:BC-DLC-600A


技术参数(以下参数可根据用户需求定制)

真空室结构:立式圆柱形前开门,后置低真空,上置高真空抽气机组。

真空室尺寸:内部尺寸650㎜×400㎜

真空室材质:全部采用不锈钢材料焊接。

真空室加热:室内温度≤500℃

旋转基片台:平板型直径472㎜,带自转轴。

      靶配置:   磁过滤圆弧靶

电源配置:弧电源, 磁场电源,偏压电源

控制方式:   PLC全自动和半自动控制模式

占地面积:长3900㎜ ×宽2100㎜×高2600㎜

总功率KW: 380V  50KW


电弧磁过滤设备.jpg

 


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